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塑料微流控芯片自动化制造装备

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来源: 作者: 2019-05-16 18:14:41

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近期,由大连理工大学、北京航空航天大学、沈阳药科大学承担的塑料微流控芯片自动化制造装备项目通过了教育部科技发展中心组织的鉴定。塑料微流控芯片自动制造设备系统基于模块化设计思想,由热压成形机、自动对准台、热键合机、操作机器人、上下料装置等单机设备和总控计算机系统构成,每小时生产塑料微流控芯片3-5片。全部系统采用集散-独立式结构,各个设备可作为单机使用,联成系统时由总控计算机系统进行作业规划和调和控制,总控计算机的控制软件具有动画显示、历史数据存储、曲线图表描述、故障诊断及报警等功能。关键的单机设备中,热压成形机是实现微流控芯片微通道成形的关键装备,通过对温度、压力、时间的精确控制,将模具上微通道结构复制到塑料芯片上;自动对准台由精密对准系统和塑料芯片键合前预联接装置组成,主要用于微流控芯片基、盖片间自动对准,对准精度高于±2μm,它利用光电对准的原理,采取显微视觉伺服控制创新驱动智造发展 打造产城融合新车都
方式实现基、盖片上标记点间的对准,进而到达超级黑洞足以吞噬整个太阳系真相曝光!
基、盖片间的对准。整套装置主要由视觉系统、机械系统和控制系统组成,是一个典型的光机电集成系统。整个对准进程分为调平、预对准、对准和预联接四个工序,所有运动都是在以工控机为核心的电控系统控制下自动实现;预联接后的芯片由操作机器人将其移至热键合机上进行热键合,实现塑料微流控芯片基、盖片的键合封接。此外还有上下料装置。整套系统具有成本低、结构紧凑、自动化程度高和操作方便等优点。自动化制造系统拥有全部知识产权。本研究成果适用于中、小批量塑料微流控芯片的自动化生产制作,目前已经对利用该系统制作的塑料微流控芯片进行了应用研究。

(教育部科技发展中心成果处供稿 2004年12月24日)

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